工艺介绍

　　在高温环境中，由于化学气相沉积(CVD)的涂层与晶圆的膨胀率不同，容易产生局部形变，形变则会产生应力，在多层的反复加工中应力会越来越大，最终导致晶圆损坏报废。

　　因此化学气相沉积(CVD)镀膜的细分工位通常使用激光退火的方式来消除应力，最后通过应力检测机确认消除效果，以此形成应力把控的闭环。

　　设备前端模块(EFEM)将晶圆送入测量腔内，随后晶圆经翻转运输至干涉仪的测量视野范围中检测形变量，通过应力计算判定退火品质后，再翻转运输至设备前端模块(EFEM)进行OK/NG的分类。

　　课题1：如何精准地采集实时温度

　　目前时域中常见的滤波方式，平均值(AVE)方式稳定性好，可抗干扰差;中位值(MED)方式抗干扰好，可稳定性差，在输入干扰较大的情况下，用以上任意一种滤波难以精准获取到实时的温度值。

　　课题2：如何快速响应细微的温度变化趋势?

　　解决方案

　　1. 经验分布统计+专业的建模计算，推算批量数据

　　通过有限的温度采样值，例如中心的基准温度值、变化趋势、判定区间，并使用大数据仿真确定了更为合适的RMS滤波算法，最后经过经验分布函数推算/模拟出大量的实时温度数据。

　　2. 通过数学期望算法，实时估算基准值

　　首先建立数学期望模型，然后采集开始检测的温度值(过滤后)，最后通过一系列的推算，在动态测量中预估出基准温度值。

　　控制系统

　　实现价值

　　精度：

　　滤波后的实时温度与温度传感器示数一致，波动合理，抗干扰性强

　　效率：

　　温度变化感知灵敏度提升1倍，响应速度提升15%。

　　【经营层】

　　■ 在半导体(SEMI)良好的发展前景下，快速应对市场变化，通过先进的算法解决晶圆易损坏报废的行业课题，大幅升级设备性能，助力打造业内Top竞争力。

　　【管理层】

　　■ 晶圆沉积工艺品质的提升，完全建立在控制系统与程序的优化，无需更改机械结构和运动时间，导入时间更快且成本更低。

　　■ 欧姆龙机械自动化控制器NJ/NX系列，可实现现场生产数据的采集、存储、分析，改善管理课题，提高生产效率。

　　【工程师层】

　　■ 通过滤波解决温度课题，节省了两周的开发时间。

　　■ 大量的专业的建模计算模拟运用大幅度提升了调试效率。